特許

J-GLOBAL ID：200903076855393630

液管理装置

発明者： 杉本 小弥太 ,  讃井 洋一
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-038858
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233768
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、吸引ポンプで吸い込まれる洗浄液にガスが含まれる場合であっても、該洗浄液の異常判定を正確に行うことができる液管理装置の提供を目的とする。【構成】 被測定液供給路Aの吸引装置1の近傍位置に、洗浄液の液体割合を検出する気液割合検出センサ9を設け、該気液割合検出センサ8にて検出された洗浄液の液体割合に応じて、酸素センサ8が検出した酸素ガスの濃度を補正する補正回路17を設けた。

請求項（抜粋）：

被測定液供給路の途中に設けられて、該被測定液供給路を通じて有効成分を含む被測定液を吸引する吸引手段と、該吸引手段により吸引された被測定液中の成分を分解してガス化し、発生したガスを被測定ガスとして抽出する分解抽出手段と、該分解抽出手段にて抽出された被測定ガスの濃度を検出するガスセンサと、該ガスセンサにより検出された被測定ガスの濃度に基づき、被測定液中の有効成分濃度を検出する演算手段とを具備してなり、前記分解抽出手段の上流に位置した被測定液供給路には、被測定液の気液割合を検出する気液割合検出センサが設けられ、更に、前記演算手段には、該気液割合検出センサにより検出された被測定液の気液割合に応じて、ガスセンサにより検出された被測定ガスの濃度を補正する補正手段が設けられていることを特徴とする液管理装置。

IPC (5件)：

G01N 27/26 371 ,  G01N 27/26 361 ,  G01N 27/26 381 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (6件)：

G01N 27/26 371 F ,  G01N 27/26 361 G ,  G01N 27/26 381 B ,  H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/304 341 L ,  H01L 21/304 341 Z