特許
J-GLOBAL ID：200903076875137079
剥膜装置における搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古澤 俊明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065621
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249602
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 膨潤化装置11から剥膜装置12へ搬送する際、ローラ15に膨潤化した不要薄膜22が付着しないような搬送方法を提供することを目的とする。【構成】 ローラ15を容器19に満たされた液体30に一部が浸るように配置するか、ローラ15を多孔質の材料で形成し、中心の導孔28から液体30を圧入することにより、ローラ15の小穴からローラ15の表面に液体30を滲み出させるか、ローラ15の下に補助ローラ29を介在し、この補助ローラ29を液体30に浸すかして、ローラ15の表面に水膜31を形成して被洗浄物14を搬送する。この結果、ローラ15の表面に不要薄膜22が付着することはない。
請求項（抜粋）：
被洗浄物14の不要薄膜22を膨潤化してローラ15により搬送する装置において、前記ローラ15を容器19に満たされた液体30に一部が浸るように配置し、ローラ15の表面に常時水膜31を形成して被洗浄物14を搬送するようにしたことを特徴とする剥膜装置における搬送方法。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, B65G 13/00
, C23F 1/00 104
, C23G 3/00
, H01L 21/027
