特許
J-GLOBAL ID:200903076880325568
光学装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-047299
公開番号(公開出願番号):特開2001-235316
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 空間変調パターンの相対的な移動に伴う機械的な振動等の影響を考慮する必要がなく、高速、効率的な観察を行うことができる縞投影断層像観察装置。【解決手段】 光源1と、回転ディスク2上に配置された複数の空間変調パターンと、その空間変調パターンを試料4に投影するための投影光学系3と、試料4の像を結像するための結像光学系5と、結像光学系により結像された像を撮像する撮像手段6と、撮像手段6により撮像された複数の画像を処理する画像処理手段7とを有する光学装置であって、空間変調パターンは、回転ディスク2の回転軸12を中心とする同心円の円弧により形成される縞であって、複数の空間変調パターンの各々の空間周波数が等しく、各々の空間位相が異なる光学装置。
請求項(抜粋):
光源と、回転ディスク上に配置された複数の空間変調パターンと、前記空間変調パターンを試料に投影するための投影光学系と、前記試料の像を結像するための結像光学系と、前記結像光学系により結像された像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された複数の画像を処理する画像処理手段とを有する光学装置であって、前記空間変調パターンは、前記回転ディスクの回転軸を中心とする同心円の円弧により形成される縞であって、複数の前記空間変調パターンの各々の空間周波数が等しく、各々の空間位相が異なることを特徴とする光学装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G01B 11/25
, G02B 26/02
FI (3件):
G02B 26/02 B
, G01B 11/24 K
, G01B 11/24 E
Fターム (22件):
2F065AA52
, 2F065AA53
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065GG25
, 2F065HH01
, 2F065HH06
, 2F065HH07
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL25
, 2F065LL29
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065PP24
, 2F065QQ31
, 2F065UU01
, 2H041AA07
, 2H041AB04
, 2H041AC04
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
引用特許:
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