特許

J-GLOBAL ID：200903076882049169

検査装置

発明者： 市川 巌
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364221
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202269
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 本発明は照射手段によってレーザ光を検査体に照射するタイプの検査装置に関するもので、検査エラーを防止し、且つ精度の良い検査を行うことを目的とするものである。【解決手段】 そして、この目的を達成するために本発明は、照射手段3から電子部品12迄の間にレーザ光の走査軌跡を可変する平板ガラス5,6を設け、前記平板ガラス5,6に相対角度を電子部品12の大きさ毎に都度可変し、その後同期回転することにより、基板11上に実装された電子部品12の大きさに合った適切な走査範囲を得るものである。

請求項（抜粋）：

検査体にレーザ光を照射する照射手段と、前記検査体から反射したレーザ光を受光する受光手段と、この受光手段によって受光したレーザ光により前記検査体の外観情報を検出する検出手段とを備え、前記照射手段から検査体間にレーザ光の走査範囲を可変する可変手段を設けた検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H05K 13/08

FI (2件)：

G01N 21/956 B ,  H05K 13/08 U

Fターム (8件)：

2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA10 ,  2G051BC05 ,  2G051BC06 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04