特許

J-GLOBAL ID：200903076896324286

異常放電検出装置と検出方法、及び該異常放電検出装置を備えたプラズマ処理装置

発明者： 俵 知之 ,  依田 英徳
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 北村 欣一 ,  吉岡 正志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-007050
公開番号（公開出願番号）：特開2004-220923
出願日： 2003年01月15日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】異常放電のみを精度よく検出できるようにする。【解決手段】高周波電源1から印加される高周波電力の高周波電源1からプラズマ処理装置4側への進行波Aと、整合器3から高周波電源1側への反射波Bを方向性結合器11で検出して、検出した進行波レベルに対する反射波レベルの比率を比率算出器14に出力し、比率算出器14で算出された算出値を比較器15に取り込み、設定値と算出値とを比較して算出値が設定値よりも大きい場合にはこの算出値を比較器15から異常放電検出部17に出力する。異常放電検出部17は、方向性結合器11で検出した反射波の中から異常放電のみを検出して、カウンター18で異常放電の発生回数をカウントする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

高周波電源から印加される高周波電力により、真空容器内で発生されるプラズマを利用して被処理基体に対して所定のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置の前記真空容器内で発生する異常放電を検出する異常放電検出装置であって、 前記高周波電源から整合器を介して前記プラズマ処理装置に印加される高周波電力の前記高周波電源から前記プラズマ処理装置側への進行波と、前記高周波電力の前記整合器から前記高周波電源側に反射される反射波とを検出する進行波・反射波検出手段と、 前記進行波・反射波検出手段で検出された進行波レベルに対する反射波レベルの比率を算出する比率算出手段と、 前記比率算出手段で算出された算出値を取り込み、前記進行波レベルに応じて設定された設定値と前記算出値とを比較し、前記算出値が前記設定値よりも大きい場合に前記算出値を出力する比較手段と、 前記比較手段から前記算出値を取り込み、前記進行波・反射波検出手段で検出された反射波の中から異常放電のみを検出する異常放電検出手段と、を具備した、 ことを特徴とする異常放電検出装置。

IPC (8件)：

H05H1/00 ,  B01J3/00 ,  B01J19/08 ,  C23C14/34 ,  C23C16/44 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

FI (9件)：

H05H1/00 A ,  B01J3/00 J ,  B01J19/08 E ,  C23C14/34 U ,  C23C16/44 B ,  H01L21/31 C ,  H05H1/46 L ,  H05H1/46 R ,  H01L21/302 103

Fターム (24件)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA65 ,  4G075BC02 ,  4G075BC06 ,  4G075CA12 ,  4G075DA01 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4K029CA05 ,  4K029DC35 ,  4K030FA01 ,  4K030KA39 ,  5F004AA06 ,  5F004AA16 ,  5F004BD03 ,  5F004BD04 ,  5F004BD05 ,  5F004CB05 ,  5F045AA08 ,  5F045AA19 ,  5F045BB20 ,  5F045GB08