特許

J-GLOBAL ID：200903076897003084

大型基板の組立装置及び組立方法

発明者： 八幡 聡 ,  中山 幸徳 ,  平井 明 ,  村山 孝夫
出願人/特許権者： 株式会社 日立インダストリイズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-019640
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233473
出願日： 2003年01月29日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】液晶表示装置を製造する場合、使用する基板を大型にして複数の表示装置を一度に製造できる基板組立装置が望まれている。【解決手段】架台上に下フレームと上フレームとを設け、下フレーム側に上フレームを上下に大きく移動させる第1のZ軸駆動機構を設け、前記下フレームの内側に下チャンバを、上フレームの内側に上チャンバを設け、上チャンバの内側に上テーブルを設け、前記下チャンバの下側に下チャンバ内に設けた下テーブルを上下に微小移動させる第2のZ軸駆動機構を、下チャンバ側面に前記下テーブルを水平方向に移動させる駆動機構を設け、上フレームと下フレームを合体させることで、上チャンバと下チャンバとをシールリングを介して合体し真空チャンバを形成する構成とした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

架台上に下フレームと上フレームとを設け、下フレーム側に対して上フレームを上下に大きく移動させる第1のZ軸駆動機構を設け、前記下フレームの内側に真空チャンバを構成する下チャンバを、前記上フレームの内側に上チャンバを設け、上チャンバの内側に上テーブルを設け、前記下チャンバの下側に下チャンバ内に設けた下テーブルを上下に微小移動させる第2のZ軸駆動機構を、下チャンバ側面に前記下テーブルを水平方向に移動させる駆動機構を設け、前記上フレームと下フレームを合体させることで、上チャンバと下チャンバとをシールリングを介して合体し真空チャンバを形成する構成としたことを特徴とする大型基板の組立装置。

IPC (3件)：

G02F1/1339 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1341

FI (3件)：

G02F1/1339 505 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1341

Fターム (16件)：

2H088FA04 ,  2H088FA09 ,  2H088FA27 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H089NA22 ,  2H089NA32 ,  2H089NA38 ,  2H089NA39 ,  2H089NA44 ,  2H089NA48 ,  2H089NA49 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089TA01