特許
J-GLOBAL ID：200903076915850814
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-054953
公開番号（公開出願番号）：特開平6-246658
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：
【要約】[目的]基板の重量によるアームの前下がりを自動的に矯正して、基板を正しい姿勢で搬送する。[構成]アーム10にLCD基板Pが載ると、LCD基板Pの重量でアーム10が下方に撓んでアーム先端部が下がり、いわゆる前下がり状態となり、発光素子66からの光LA はアーム10の先端部によって遮光されることなく直進して受光素子64に入射する。制御部84は、モータ18を作動させて、アーム支持板14およびアーム10を反時計回りに回動させ、アーム10の先端部を上方にシフトさせる。そして、発光素子66からの光LA が受光素子70に入射しなくなったところで、モータ18の回転を止める。これによって、アーム10の先端部が基準の高さ位置に戻り、アーム10はLCD基板Pを載せた状態でほぼ水平状態になる。
請求項（抜粋）：
板状の基板をアームで支持しながら搬送する基板搬送装置において、前記アームに支持された前記基板の重量による前記アームの変位を検出するアーム変位検出手段と、前記アーム変位検出手段より得られたアーム変位検出信号に基づいて前記アームの変位を補償するアーム変位補償手段と、を具備することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
B25J 9/10
, B25J 13/08
, H01L 21/68
, B65G 47/90
