特許
J-GLOBAL ID:200903076926684614

検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-228109
公開番号(公開出願番号):特開平10-073626
出願日: 1996年08月29日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】【課題】 本発明は検査装置に関するもので、その設置スペースを小さくすることを目的とする。【解決手段】 そしてこの目的を達成するために本発明は、被検査体として用いた電子部品6が搬送されるテーブル4を備え、前記テーブル4には、搬送された電子部品6が個別に装着される複数の開口5を設けるとともに、このテーブル4の開口5に対応して特性検出用電極15と画像認識手段としてのカメラ23,29を設けたものである。
請求項(抜粋):
被検査体の投入口と、この投入口に投入された被検査体が搬送されるテーブルとを備え、前記テーブルには、搬送された被検査体が個別に装着される複数の開口を設けるとともに、このテーブルの開口に対応して特性検出用電極と画像認識手段を設けた検査装置。
IPC (6件):
G01R 31/00 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 21/88 ,  G01N 27/00 ,  G01R 31/26 ,  H01G 13/00 361
FI (6件):
G01R 31/00 ,  G01N 1/00 101 A ,  G01N 21/88 Z ,  G01N 27/00 D ,  G01R 31/26 Z ,  H01G 13/00 361 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
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