特許

J-GLOBAL ID：200903076929839791

ウエーハの製造方法

発明者： 岩松 誠一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-182131
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029287
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 透明なガラス板上に単結晶シリコン膜を島状に形成し、TFTアクテイブマトリックス液晶表示体基板への応用を計る。【構成】 単結晶シリコンウエーハにストッパーを形成し、ガラス板を貼り付けてシリコンを機械化学研磨法で鏡面研磨し、透明なガラス板上に単結晶シリコン膜6を島状に形成する。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコンウエーハの一主面に、シリコンに比し研磨され難いガラス材料から成るストッパーを埋め込んで形成する事を特徴とするウエーハの製造方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784