半導体ウエハー用ポリイミドスクリーン印刷ワニス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡部剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-330289
公開番号（公開出願番号）：特開2000-154346
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】パターン形状及び連続印刷性に優れており、耐熱性、高絶縁性に優れた接着層または保護層を容易に形成することができる半導体ウエハーにスクリーン印刷するためのポリイミドワニスを提供する。【解決手段】樹脂成分と溶剤成分を含有する半導体ウエハー用ポリイミドスクリーン印刷ワニスであって、樹脂成分が下記式(1a)で示される構造単位及び下記式(1b)で示される構造単位の少なくとも1種100〜30モル%と、下記式(2a)で示される構造単位及び下記式(2b)で示される構造単位の少なくとも1種0〜70モル%からなるポリイミドを含有する。【化1】(式中、Arは芳香環を有する二価の基を表し、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチレン基がSiに結合している-CH2 OC6 H4 -を表し、nは1〜20の整数を意味する。)

請求項（抜粋）：

樹脂成分と溶剤成分を含有し、該樹脂成分が下記式(1a)で示される構造単位及び下記式(1b)で示される構造単位の少なくとも1種100〜30モル%と、下記式(2a)で示される構造単位及び下記式(2b)で示される構造単位の少なくとも1種0〜70モル%からなるポリイミドを含有してなることを特徴とする半導体ウエハー用ポリイミドスクリーン印刷ワニス。【化1】(式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれる二価の基を表す。)【化2】(式中R1 、R2 、R3 及びR4 はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシ基を表すが、これら全ての基が同時に水素原子であることはない。)【化3】(式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチレン基がSiに結合している-CH2 OC6 H4 -を表し、nは1〜20の整数を意味する。)

IPC (4件)：

C09D 11/10 , C08G 73/10 , C08G 73/16 , H01L 21/312

FI (4件)：

C09D 11/10 , C08G 73/10 , C08G 73/16 , H01L 21/312 B

Fターム (78件)：

4J039AD12 , 4J039BA13 , 4J039BA16 , 4J039BA21 , 4J039BA23 , 4J039BA26 , 4J039BD02 , 4J039BE12 , 4J039CA04 , 4J039EA25 , 4J039EA37 , 4J039EA48 , 4J039FA07 , 4J039GA10 , 4J043PA05 , 4J043PA06 , 4J043PA19 , 4J043PC015 , 4J043PC016 , 4J043PC115 , 4J043PC116 , 4J043PC145 , 4J043PC146 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043SA54 , 4J043SA81 , 4J043SA85 , 4J043TA13 , 4J043TA14 , 4J043TA21 , 4J043TA22 , 4J043TA74 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA241 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB131 , 4J043UB141 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB321 , 4J043UB351 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA032 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA071 , 4J043XA19 , 4J043YA06 , 4J043YA25 , 4J043ZA51 , 4J043ZA60 , 4J043ZB03 , 4J043ZB47 , 5F058AA08 , 5F058AA10 , 5F058AB04 , 5F058AD04 , 5F058AF06 , 5F058AH01 , 5F058AH03

引用特許：

審査官引用 (3件)

ポリイミドシロキサン組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-059044 出願人：宇部興産株式会社
特開昭63-099551
カバーコートインクとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-270415 出願人：鐘淵化学工業株式会社

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