走査電子顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-329793
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134057
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】絶縁物等の試料を金属コーテング無しに観察することを容易にできる手段を提供する。【解決手段】絶縁物等を観察するときに、試料チャージアップするような時にも、試料ステージ試料ホールダ固定部に備えたAir/ガス導入部よりAirまたはガスを導入し意図的に試料近傍にガス分子を存在させ、ガス分子により試料表面にチャージアップ(帯電)した電子を中和させをチャージアップの無い二次電子検出器での画像が得られる。また、表面観察も低加速電圧にて試料を金属コーテング無しに観察ができる構造になっている。Air/ガスの導入圧力はチャージアップの度合いにより調整する。

請求項（抜粋）：

試料の表面に電子線を収束して照射する走査電子顕微鏡において、試料ステージ試料ホールダ固定部に試料室外より電子線によりイオン化するガスを導入することのできる装置を有するすることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/28 , G01N 23/225 , H01J 37/16 , H01J 37/20

FI (4件)：

H01J 37/28 B , G01N 23/225 , H01J 37/16 , H01J 37/20 H

Fターム (17件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001BA07 , 2G001BA14 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA12 , 2G001HA13 , 2G001JA12 , 2G001JA14 , 2G001JA20 , 5C001AA08 , 5C001BB03 , 5C001CC04 , 5C033UU03

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