特許
J-GLOBAL ID：200903076955466677
洩れ検査用ドリフト補正値算出装置及びこれを用いた洩れ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115136
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304632
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 取扱いが容易で検査の信頼性が高い洩れ検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体と基準タンクに空気圧を与え、両者間に圧力差が発生するか否かにより被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置において、校正時に被検査体と環境温度ごとに被検査体と基準タンクとの間に発生する圧力差をドリフト特性としてドリフト特性記憶手段に記憶すると共に、ドリフト検出手段により洩れの成分等を含まない純度の高いドリフト値を検出し、このドリフト値とドリフト特性記憶手段に記憶したドリフト特性との偏差を求め、その偏差をドリフト特性記憶手段から読み出されるドリフト特性に加え、ドリフト特性の位置を平行移動させて利用することによりドリフト補正の精度を高めた。
請求項（抜粋）：
A.被検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、印加完了時点で加圧気体の供給路を遮断し、上記印加完了時点から一定時間が経過した時点で上記被検査体と基準タンクとの間の差圧値を差圧検出器によって測定し、その差圧値からドリフト補正値を除去し、その残差値が所定値以上か以下かによって上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置において、B.上記被検査体の温度と環境温度との差を測定する温度差測定手段と、C.この温度差測定手段によって測定した温度差ごとに測定した差圧値をドリフト特性として記憶したドリフト特性記憶手段と、D.上記被検査体と基準タンクとの間を導通状態と非導通状態に制御する平衡手段と、E.上記温度差測定手段により上記被検査体の温度と環境温度との初期温度差を測定すると共に、上記被検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、加圧気体の印加後に加圧気体の供給路を遮断し、この遮断状態において一定時間が経過するごとに上記差圧検出器で被検査体と基準タンク間に発生する差圧値を測定すると共に、この差圧値の測定が終了するごとに一定時間ずつ上記平衡手段を動作させて、上記被検査体と基準タンク間の圧力差を平衡させる動作を繰り返し、平衡動作を実行するごとに発生する差圧値が一定値に収束したことを検出して、その収束した差圧値を初回に発生した差圧値から減算し、その減算結果をドリフト値として検出するドリフト検出手段と、F.このドリフト検出手段が検出したドリフト値と、上記ドリフト特性記憶手段に記憶したドリフト特性曲線上の上記初期温度差におけるドリフト値との偏差を算出する偏差算出手段と、G.この偏差算出手段が算出した偏差を上記ドリフト特性記憶手段から読み出されるドリフト特性値に加算し、各温度差ごとにドリフト補正値を算出するドリフト補正手段と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査用ドリフト補正値算出装置。
FI (2件)：
G01M 3/26 A
, G01M 3/26 K
