特許

J-GLOBAL ID：200903076956969630

センサ及びセンサの製造方法

発明者： 福谷 和彦 ,  田 透
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 山下 穣平 ,  志村 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-172685
公開番号（公開出願番号）：特開2005-351754
出願日： 2004年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】 多層膜内の細孔表面に結合した検出物の有無又は量を光学的に検出し、高感度で応答性に優れたセンサを提供するものである。【解決手段】 図1において、101は基板、102は多孔質膜材料、103は細孔、105は細孔径が大きい細孔が形成される多孔質膜、104は細孔径が小さい細孔が形成される多孔質膜、106は多層膜ミラーである。センサは、基板101上に屈折率の異なる(細孔径又は多孔質膜を構成する材質の異なる)多孔質膜から主に構成される。多層膜の周期及び膜の厚みさらに積層数は、反射率を高める波長及び反射率の強度により異なる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の細孔が形成された膜が複数積層されてなるセンサにおいて、 前記複数の細孔は円柱状に形成されており、 前記細孔は当該細孔が形成された膜ごとに同じ細孔径を有しており、 当該細孔径は前記膜ごとの一定間隔で同じになることを特徴とするセンサ。

IPC (1件)：

G01N21/41

FI (1件)：

G01N21/41 Z

Fターム (12件)：

2G059AA03 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第6248539号明細書