特許
J-GLOBAL ID：200903076960107170
静電チヤツク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-160565
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013556
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【構成】 この発明の静電チャック23は、静電チャック23に固定されたウエハ2を離脱する際に、上記静電チャック23に逆の電圧を印加する電圧切り替え装置と、上記ウエハ2に上記ウエハ2の電位と反対の電位にイオン化ガス(イ)を接触させるアイオナイザ-30とを有する。【効果】 ウエハの残留静電気力の除去を確実かつ迅速に行えるからウエハの離脱を容易に行うことができ、かつこのとき上記ウエハを損傷させることがないという効果がある。
請求項（抜粋）：
被処理物を静電気力によって保持する静電チャックにおいて、上記静電チャックと上記被処理物の電荷を中和する中和手段を有することを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
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