特許
J-GLOBAL ID：200903076961989843
静電容量型圧力センサユニットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113691
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304639
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 かしめ加工の際にシール部材を適性な圧縮率範囲内に圧縮して、シール部材のシール性を維持することができる静電容量型圧力センサユニットを得る。【解決手段】 シール部材を構成するOリング15、圧力センサ素子1及びコネクタ本体6の基部6aを収納ケース12に収納する。コネクタ5を圧力センサ素子1に向って所定の押し付け力で押し付ける押付部材21を板状のロードセル22を介してコネクタ5に連結する。Oリング15の圧縮率がOリング15のシール性を維持できる適性圧縮範囲に入るように押付部材21を用いてコネクタ5を圧力センサ素子1に向って所定の押し付け力で押し付ける。この押し付け力により押付部材21と収納ケース12との位置関係を一定にした状態でかしめ加工を行い、ロードセル22を厚み方向に圧縮する力が減少したときにかしめ加工を終了する。
請求項（抜粋）：
圧力感知面に作用する圧力を静電容量の変化として検出する圧力センサ素子と、前記圧力センサ素子に対して設けられる絶縁樹脂製のコネクタ本体を有するコネクタと、前記コネクタ本体の基部の内部に収納されて前記圧力センサ素子の出力を処理する信号処理用回路と、圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された底壁部と該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え、前記圧力センサ素子の前記圧力感知面と前記底壁部との間に前記圧力被測定流体が入る流体室を形成するように前記圧力センサ素子と前記コネクタ本体の前記基部を収納し且つ前記周壁部の端部に施されるかしめ加工により前記コネクタ本体の基部の抜け止めを図るように構成された金属製の収納ケースと、前記圧力感知面と前記底壁部との間に配置されて前記流体室から前記周壁部と前記圧力センサ素子との間に形成される隙間を通して前記圧力被測定流体が漏れ出るのを阻止するシール部材とを具備する静電容量型圧力センサユニットの製造方法であって、前記シール部材、前記圧力センサ素子及び前記コネクタ本体の基部を前記収納ケースに収納し、前記シール部材の圧縮率が前記シール部材のシール性を維持できる適性圧縮範囲に入るように前記コネクタを前記圧力センサ素子に向って所定の押し付け力で押し付け、前記かしめ加工後に前記圧力センサ素子に対して前記押し付け力が維持されているように前記かしめ加工を行うことを特徴とする静電容量型圧力センサユニットの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD19
, 2F055EE25
, 2F055FF43
, 2F055GG01
, 2F055GG12
, 2F055GG25
