顕微鏡観察装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-201174
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027178
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】任意の2次元方向における解像度が高いとともに寸法再現性が高い2次元画像を実時間で得ることができる顕微鏡観察装置を提供するものである。【構成】レーザ光源1からのレーザビームを音響光学偏向素子3によって主走査方向に高速で偏向した後、第1の振動ミラー8によって副走査方向に低速で偏向して試料13上に照射し、試料からの反射光を再び第1の振動ミラーに照射して副走査方向の偏向を相殺した後、主走査方向に延在するスリット19上に照射し、このスリットを透過した光を第2の振動ミラー22に照射して再度副走査方向に偏向してCCD2次元撮像素子24に入射させる。レーザ光源、試料上の観察点、スリットおよびCCD2次元撮像素子が共役な結像関係となる共焦点光学系を構成するように配置する。

請求項（抜粋）：

走査光を発生する点光源と、この点光源から放射される光を主走査方向に高速で偏向する音響光学偏向素子を有する高速偏向手段と、この高速偏向手段から射出される光を前記主走査方向と直交する副走査方向に低速度で偏向する第1の低速偏向手段と、この第1の低速偏向手段から射出される光を試料の観察点に照射する対物レンズ系と、試料からの反射光、透過光または蛍光を、その副走査方向の偏向を打ち消すように副走査方向に偏向する第2の低速偏向手段と、この第2の低速偏向手段から射出される光を受ける空間フィルタと、この空間フィルタを透過した光を、副走査方向に偏向する第3の低速偏向手段とを具え、前記点光源、試料上の観察点および空間フィルタを、これらが全て共役な結像関係となる共焦点光学系を構成するように配置したことを特徴とする顕微鏡観察装置。

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