特許

J-GLOBAL ID：200903076974731314

金属配線基板及び金属配線基板の製造方法並びに反射型液晶表示装置用金属配線基板

発明者： 近間 義雅 ,  和泉 良弘
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161066
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353167
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 金属膜のエッチング工程を必要とせず簡単なプロセスによりパターン形成することができ、銅(Cu)等のエッチング制御が困難な金属であっても精細にパターニングでき、かつ材料の利用効率の優れた金属配線基板及び金属配線基板の製造方法並びに反射型液晶表示装置用金属配線基板を提供する。【解決手段】 樹脂基板1上に、パターニングされた保護膜2とパターニングされた抜きの部分に選択的に形成された金属膜3とを有する。

請求項（抜粋）：

樹脂基板上に、パターニングされた保護膜とパターニングされた抜きの部分に選択的に形成された金属膜とを有することを特徴とする金属配線基板。

IPC (7件)：

H01L 21/288 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 310 ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786

FI (8件)：

H01L 21/288 Z ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 310 ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/88 B ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/78 627 A ,  H01L 29/78 617 J

Fターム (121件)：

2H092HA05 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA12 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092NA15 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD07 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD16 ,  4M104DD22 ,  4M104DD26 ,  4M104DD46 ,  4M104DD51 ,  4M104DD53 ,  4M104EE02 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104EE18 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104HH01 ,  4M104HH09 ,  4M104HH13 ,  5C094AA05 ,  5C094AA14 ,  5C094AA31 ,  5C094AA32 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EB01 ,  5C094EB04 ,  5C094ED11 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F033GG03 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK13 ,  5F033KK14 ,  5F033MM01 ,  5F033MM05 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP26 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ54 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR22 ,  5F033RR27 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033SS22 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX02 ,  5F033XX05 ,  5F033XX12 ,  5F033XX33 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD13 ,  5F110EE02 ,  5F110EE14 ,  5F110EE41 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110HK03 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HL03 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN72