特許
J-GLOBAL ID：200903076976298448
超音波探触子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-261879
公開番号（公開出願番号）：特開2007-074628
出願日： 2005年09月09日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】高感度な超音波探触子を得ることのできる技術を提供する。【解決手段】基板1に固定された下部電極3と、空洞4を挟み基板1に対向して設けられたダイアフラム5と、ダイアフラム5に設けられた上部電極6とを含む超音波振動子M1を同一の基板1に複数個配列して超音波探触子を構成し、空洞4の半径の70%より外側のダイアフラム5に、その中心をダイアフラム5の中心と同じにする同心円の凸形状のコルゲート領域5aを設ける。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数個の超音波振動子を同一の基板上に配列して構成される超音波探触子であって、
前記超音波探触子は、前記基板に固定された下部電極と、空洞を挟み前記基板に対向して設けられたダイアフラムと、前記ダイアフラムに設けられた上部電極とを含み、前記ダイアフラムは、前記空洞の半径または幅の半分の70%より外側の領域にコルゲート形状を有することを特徴とする超音波探触子。
IPC (5件)：
H04R 31/00
, A61B 8/00
, H04R 23/00
, B81B 3/00
, B81C 1/00
H04R31/00 330
, A61B8/00
, H04R23/00 330
, B81B3/00
, B81C1/00
2G064BA07
, 4C601GB06
, 4C601GB41
, 4C601GB42
, 5D019AA21
, 5D019DD01
, 5D019FF03
, 5D019HH01
, 5D021CC19
, 5D021CC20
