特許
J-GLOBAL ID：200903076981958286
原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-271278
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123621
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーとその製造方法に関するもので、特に、溝形状等のアスペクト比の比較的大きな凹凸を有する試料を精度良く測定するための探針付カンチレバーを提供することを目的とする。【構成】 原子間力顕微鏡用カンチレバー1の自由端近傍に、傾斜面3を設け、傾斜面上に酸化亜鉛針状結晶が延びたテトラポッド形状の構造体4を設け、傾斜面に垂直な針状結晶を探針5として用いる。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの自由端近傍に傾斜面を有し、前記傾斜面上にテトラポッド形状の構造体を設けたことを特徴とする原子間力顕微鏡用探針付カンチレバー。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
