特許
J-GLOBAL ID：200903076990145816
ブレード装着機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152303
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000555
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 エアースピンドルに、本体フランジを介して取り付けられるブレードにおいて、高速回転による本体フランジの拡径及び縮径による偏位と食い付き現象の解消、並びにブレードの偏芯による不都合を解消すること。【解決手段】 ブレードが取り付けられた本体フランジとエアースピンドルとの嵌合部位、即ちフランジ装着部に、偏位を阻止するツバ部を設けると共に、エアー膜形成手段を設け、高圧エアーによるエアー膜を形成することで、ブレードの偏芯を修正し、且つ、高速回転時に本体フランジが拡径しても取り付け位置から移動しないようにし、高速回転停止時に縮径しても食い付き現象が生じないようにしたものである。
請求項（抜粋）：
ダイシング装置等に装備されているエアースピンドルの先端部にブレードを装着するためのブレード装着機構であって、エアースピンドルの先端にはブレードを取り付けるための本体フランジが装着されるフランジ装着部が形成され、該フランジ装着部には本体フランジの背部を支持するツバ部と、本体フランジの環状筒部を支える環状筒支持部とが形成され、該環状筒支持部にはエアーを供給するエアー供給手段が形成されていることを特徴とするブレード装着機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 45/00 Z
, H01L 21/78 F
