特許
J-GLOBAL ID：200903076998241997
デジタル加速度計および加速度検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136423
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043180
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 マイクロ機械感知素子アレイから製作されるデジタル加速度計を提供する。【構成】 異なるアレイ11a〜11eの感知素子12は特定の回転もしくは並進方向の加速度を検出するように設計され、他の方向の加速度に対する応答が最少限に抑えられる。さらに、感知素子12はサイズおよび試験質量パラメータを有しそれを調整して加速度の周波数応答および振幅感度を変えることができる。感知素子12のアレイ11a〜11eはある範囲の周波数レベルおよび各周波数における振幅を検出する。加わる加速度の適切な周波数および振幅において、感知素子12が移動して電極126と接触し、電気信号が発生されそれをデータビットとして記憶することができる。感知素子12をメモリ15および処理装置16と組み合せて使用すると、インテリジェント加速度計が得られその製造技術はデジタル処理装置に使用されるものとコンパチブルである。
請求項（抜粋）：
それぞれが直交するx,yおよびz軸に沿った並進加速度を検出するデジタル加速計において、該加速度計は、x軸に沿った並進加速度を検出する第1の感知素子アレイであって前記感知素子の各々が前記x軸およびy軸により画定される面に平行な支持板上に取り付けられた試験質量を有し、前記支持板は丁番要素に吊着されていて前記感知素子にx方向の加速度が加わる時に下側の接点電極に向って傾くことができ、かつ前記アレイは感知素子の行列を有しその寸法は前記アレイがある範囲の周波数レベルおよび前記各周波数レベルにおける加速度の振幅を検出するように調整される前記第1の感知素子アレイと、y軸に沿った並進加速度を検出する第2の感知素子アレイであって前記各感知素子が前記x軸および前記y軸により画定される面に平行な面内の支持板に取り付けられた試験質量を有し、前記支持板は丁番に吊着されて前記感知素子にy方向の加速度が加わる時に下側の接点電極に向って傾くことができ、かつ前記アレイは感知素子の行列を有しその寸法は前記アレイがある範囲の周波数レベルおよび前記各周波数レベルにおける加速度の振幅を検出するように調整されている前記第2の感知素子アレイと、z軸に沿った並進加速度を検出する第3の感知素子アレイであって前記各感知素子が可撓丁番部を有する片持梁に固定された試験質量を有し前記感知素子にz方向の加速度が加わる時に前記梁は接点電極に向って彎曲するようにされ、かつ前記アレイは感知素子の行列を有しその寸法は前記アレイがある範囲の周波数レベルおよび前記各周波数レベルにおける加速度の振幅を検出するように調整されている前記第3の感知素子アレイを具備し、前記全てのアレイの前記接点電極が一般的に平行な面内にある、デジタル加速度計。
IPC (3件)：
G01P 15/10
, G01C 19/56
, G01P 15/14
