特許
J-GLOBAL ID:200903077001151760
放射温度計
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 長七 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-187249
公開番号(公開出願番号):特開平6-034448
出願日: 1992年07月15日
公開日(公表日): 1994年02月08日
要約:
【要約】【目的】 室温を測定するために別の手段を設けることなく、簡易な構成により高性能の放射温度計を提供する。【構成】 半導体基板1の片面に、赤外線検出部2および感温部3を備え、半導体基板1の他方の片面では、赤外線検出部2の下部に対応する個所において、半導体基板1をエッチングにより除去して凹欠部kを形成する。
請求項(抜粋):
半導体基板の片面に、赤外線検出部および感温部を備えており、また、その半導体基板の他方の片面では、前記赤外線検出部の下部に対応する個所において、前記半導体基板をエッチングにより除去して凹欠部を形成していることを特徴とする放射温度計。
IPC (2件):
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