特許

J-GLOBAL ID：200903077002259530

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 松沢 明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-014260
公開番号（公開出願番号）：特開2002-210988
出願日： 2001年01月23日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 流路形成基板の厚さを薄くできると共に破損を防止でき、良好なインク吐出特性を保持できるインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口21が穿設されたノズルプレート20と、ノズル開口21に連通する圧力発生室12が画成された流路形成基板10と、流路形成基板10の圧力発生室12に対応する領域に振動板を介して設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、ノズルプレート20と流路形成基板10とが単結晶シリコンからなり、これらを接着剤を用いることなく酸化シリコン膜100を介して接合することにより、両者を良好に接合できる。

請求項（抜粋）：

ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が画成された流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記ノズルプレートと前記流路形成基板とが単結晶シリコンからなり、これらが接着剤を用いることなく酸化シリコン膜を介して接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (11件)：

2C057AF34 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AP13 ,  2C057AP27 ,  2C057AP34 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• インクジェットヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-039155   出願人：富士通株式会社