特許

J-GLOBAL ID：200903077002326726

ホログラフィー装置及びホログラム再生方法

発明者： 後藤 明弘 ,  玄間 隆志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-178912
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346754
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 リソグラフィー用のホログラム再生方式としてパターン再生時の不規則な露光むらと再生光の入射方向のアライメントずれの発生を防止することのできるホログラフィー装置及びホログラム再生方法を提供する。【構成】 ホログラム記録時に用いた参照光束の光路上に前記参照光束と同じ方向からコヒーレント光束をホログラム記録媒体に導いて透過または全反射により通過させ、前記記録媒体を通過した光束を位相共役ミラーによる反射によって位相共役な再生光束として同一光路上に逆方向に戻す。

請求項（抜粋）：

光源からのコヒーレント光束によって照明された物体から生じる物体光束と前記コヒーレント光束による参照光束との干渉によってホログラム記録媒体に記録されたホログラムを再生するホログラフィー装置において、ホログラム記録時に用いた参照光束の光路上に前記参照光束と同じ方向からコヒーレント光束を前記記録媒体に導いて透過または全反射により通過させる照射光学系と、前記記録媒体を通過した光束を同一光路上に位相共役な再生光束として逆方向に戻す位相共役ミラーを含む反射光学系とを備えたことを特徴とするホログラフィー装置。