特許

J-GLOBAL ID：200903077012262122

カーボン・ナノ・ファイバの生成装置及び生成方法

発明者： 尾浦 憲治郎 ,  大倉 重治 ,  生野 孝 ,  浅見 博
出願人/特許権者： 神港精機株式会社 ,  尾浦 憲治郎 ,  大倉 重治 ,  生野 孝
代理人 (1件)： 田中 浩 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-266621
公開番号（公開出願番号）：特開2002-069756
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】 比較的に低温でカーボン・ナノ・ファイバを生成する。【解決手段】 内部が排気された真空槽1内にプラズマ用ガスポート3を介してアルゴンガスを供給する。そして、フィラメント加熱用電源装置8から変圧器7を介してフィラメント構成の陰極6に交流電力を供給することにより、当該陰極6を加熱する。この状態で、プラズマ放電用電源装置9から陰極6と陽極10との間に、実効的に直流の電力を供給すると、これら各電極6、10間の空間内にプラズマ5が発生する。そして、このプラズマ5内に、上記陰極6の輻射熱により昇華された昇華性物質13の粒子が浮遊することにより、当該昇華性物質13を原料とするカーボン・ナノ・ファイバが、基板16の表面に成長する。

請求項（抜粋）：

排気手段によって内部が排気される真空槽と、上記真空槽内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、上記真空槽内の所定位置にカーボン・ナノ・ファイバの生成対象となる被対象物を配置する状態に該被対象物を支持する支持手段と、上記真空槽内に上記カーボン・ナノ・ファイバの原料となる原料物質を気体の状態で供給する原料供給手段と、を具備する、カーボン・ナノ・ファイバの生成装置。

IPC (6件)：

D01F 9/133 ,  B01J 19/08 ,  B82B 3/00 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/26 ,  H01J 9/02

FI (6件)：

D01F 9/133 ,  B01J 19/08 E ,  B82B 3/00 ,  C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/26 ,  H01J 9/02 B

Fターム (35件)：

4G046CA01 ,  4G046CB01 ,  4G046CC00 ,  4G046CC09 ,  4G075AA23 ,  4G075AA70 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075BB02 ,  4G075BC04 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA42 ,  4G075CA48 ,  4G075CA63 ,  4G075DA01 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4K030AA11 ,  4K030BA27 ,  4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030JA05 ,  4K030JA15 ,  4K030JA16 ,  4K030KA26 ,  4L037CS03 ,  4L037FA03 ,  4L037PA06 ,  4L037PA19 ,  4L037PA24 ,  4L037PA28