特許

J-GLOBAL ID：200903077012346962

荷電粒子線装置

発明者： 酒井 克彦 ,  黒崎 利栄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339386
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180667
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】走査方向に依存した試料帯電の悪影響を低減し、試料本来が持つ形状を忠実に表示し得るようにする。【解決手段】試料の対称性に応じて走査パターンを選択し、さらに複数の走査パターンによる像に重ね合わせや平均化等の画像処理を施して試料像を形成する。左右対称のパターンを有する試料に対しては、横(X)方向を主方向、縦(Y)方向を副方向とし、主方向の走査を右方向とするラスタ走査41と左方向とするラスタ走査42を組み合わせる。試料のパターンが回転対称の場合は、観察領域中心から周辺部へ広がって行く螺旋状パターンあるいは観察領域周辺から中心に向かって収束する螺旋状パターンを用いたり、これらの螺旋状パターンを組み合わせて用いる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を試料上で走査し、試料から発生する二次電子信号を検出して試料像を形成することのできる荷電粒子線装置において、荷電粒子線の走査パターンを複数設定できることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/256 ,  H01J 37/305

FI (2件)：

H01J 37/256 ,  H01J 37/305 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭52-156546
  
• 特開昭54-072953