特許

J-GLOBAL ID：200903077015701682

帯電防止ダイシングテープ

発明者： 盛島 泰正 ,  丸山 弘光 ,  加納 義久 ,  宮城 秀文
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 飯田 敏三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-183712
公開番号（公開出願番号）：特開2003-105292
出願日： 2002年06月24日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 被着体に対する汚染や粘着物性の経時変化が少なくかつ帯電防止性能の高い帯電防止ダイシングテープを提供する。【解決手段】 基材フィルムの片面に、末端アルコキシド化されたポリアルキレンオキサイド鎖を有する(メタ)アクリレートオリゴマーを含んでなる光架橋型帯電防止粘着剤層を有する帯電防止ダイシングテープ。

請求項（抜粋）：

基材フィルムの片面に、末端アルコキシド化されたポリアルキレンオキサイド鎖を有する(メタ)アクリレートオリゴマーを含んでなる光架橋型帯電防止粘着剤層(A)を有することを特徴とする帯電防止ダイシングテープ。

IPC (6件)：

C09J 7/02 ,  C09J133/00 ,  C09J133/06 ,  C09J171/00 ,  C09J183/04 ,  H01L 21/301

FI (6件)：

C09J 7/02 Z ,  C09J133/00 ,  C09J133/06 ,  C09J171/00 ,  C09J183/04 ,  H01L 21/78 M

Fターム (19件)：

4J004AA01 ,  4J004AA02 ,  4J004AA10 ,  4J004AB07 ,  4J004CA02 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040FA231 ,  4J040JA09 ,  4J040JB08 ,  4J040KA16 ,  4J040LA09 ,  4J040MA04 ,  4J040MA10 ,  4J040NA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 帯電防止性感圧接着剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-014459   出願人：三洋化成工業株式会社
• アルコキシド化合物、紫外線硬化型導電性組成物、ポリアクリレートおよび帯電防止剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-054710   出願人：新中村化学工業株式会社
• 半導体ウエハ固定用シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-361737   出願人：東洋化学株式会社