特許

J-GLOBAL ID：200903077020384466

観察装置及び該装置を備えた露光装置

発明者： 水谷 英夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120404
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306813
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 実質的に単波長又は複数波長の照明光を使用して被検物の位置検出等を行う際に、簡単な構成で高精度に位置検出等を行う。【解決手段】 高周波重畳された駆動信号によってマルチモード発振する半導体レーザ素子22からのレーザ光ALが、送光光学系23、ミラー24、アライメント対物レンズ25等を介してレチクルR上のレチクルマーク16A及びレチクル窓17Aを照明し、レチクルマーク16Aからの反射回折光が撮像素子27上にその像を形成する。レチクル窓17Aを透過した照明光ALが、投影光学系PL及び色収差制御板20を介してウエハW上のウエハマーク19Aに照射され、ウエハマーク19Aからの回折光が、色収差制御板20及び投影光学系PL等を介して撮像素子27上にその像を形成する。レーザ光ALによってスペックルの無い状態で高精度に位置検出を行うことができる。

請求項（抜粋）：

照明光を発生して被検物に照射する光源系と、前記被検物からの照明光を受光する光電検出手段とを備え、該光電検出手段からの光電変換信号に基づいて前記被検物の検出を行う観察装置において、前記光源系から前記被検物に照射される照明光は、空間コヒーレンスが通常のレーザ光と同等以上に良好で、実質的な観測時間内における時間コヒーレンスが通常のレーザ光に比べて劣る光束であることを特徴とする観察装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 520 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 525 M ,  H01L 21/30 525 P ,  H01L 21/30 525 W

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-269902
  
• 特開昭63-217626
  
• 特開平2-269902
  
• 特開昭63-217626