特許

J-GLOBAL ID：200903077023399154

赤外線検出素子

発明者： 中邑 卓郎 ,  友成 恵昭
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286385
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137938
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 内部応力による素子損壊の恐れがなく高い吸収率が赤外線吸収機能を有し、感度の良好な赤外線検出素子を提供する。【構成】 この発明の赤外線検出素子1は、赤外線吸収機能が備わっているとともに前記赤外線の吸収に伴って生じた熱を受けて抵抗値が変化する薄膜抵抗体11を備えている赤外線検出部2が基板3の上に設けられている構成において、前記赤外線検出部が非晶質シリコンカーバイト層を有することにより前記赤外線吸収機能が備わっていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

赤外線吸収機能が備わっているとともに前記赤外線の吸収に伴って生じた熱を受けて抵抗値が変化する薄膜抵抗体を備えている赤外線検出部が基板の上に設けられている赤外線検出素子において、前記赤外線検出部が非晶質シリコンカーバイト層を有することにより前記赤外線吸収機能が備わっていることを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-215022
  
• 特開平4-268773
  
• 特開昭56-012521