特許

J-GLOBAL ID：200903077025048340

非接触膜厚測定方法およびその装置

発明者： 寺田 幸博 ,  長谷川 裕己
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278729
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128042
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 未乾燥、未硬化の状態でも塗装膜を傷つけることなくその膜厚を計測できる非接触膜厚測定方法、およびその装置を提供する。【構成】 素地22上に塗装された塗装膜21の上方に、塗装膜21の上方からX線を照射する照射装置23と、X線31の照射により素地22から塗装膜21を透過して放出される蛍光X線32の線量を計測する半導体検出器24を設け、この半導体検出器24により計測された蛍光X線32の線量を予め入力された塗装膜厚-透過蛍光X線線量特性により塗装膜厚に変換する膜厚変換器25を設けて構成する。【作用】 X線31を照射すると、素地22に含有される元素から蛍光X線32が放出されるが、この蛍光X線32は塗装膜21によって一部は吸収されその残りが透過する。この吸収される蛍光X線32の線量率は塗装膜厚によって変化する。よって、透過してきた蛍光X線線量を計測することにより塗装膜厚を非接触で測定できる。

請求項（抜粋）：

素地上に塗装された塗装膜の上方から電離放射線を照射し、前記電離放射線の照射により素地から前記塗装膜を透過して放出される蛍光X線の線量を計測し、その計測された透過蛍光X線線量から塗装膜厚を測定する非接触膜厚測定方法。