特許

J-GLOBAL ID：200903077027837741

欠陥検出方法および装置

発明者： 板垣 忠司 ,  市場 弘造
出願人/特許権者： 東芝エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-016803
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225196
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 被検査物中の微小な欠陥を正確に検出することが可能な欠陥検出方法および装置を提供する。【構成】 被検査物中の欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報を得るエリアセンサ3と、前記各輝度情報間での各変化量を水平方向および垂直方向について求める変化量演算部5と、前記水平方向および垂直方向の変化量を前記画素毎に加算する変化量加算部7と、前記加算された変化量を前記画素毎に平均化する平均算出部9と、前記平均化された変化量が所定より多い場合、欠陥とする検出部11とから構成される。

請求項（抜粋）：

被検査物中の欠陥を検出する欠陥検出方法であって、前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、前記各輝度情報間での各変化量を水平方向および垂直方向について求める変化量演算工程と、前記水平方向および垂直方向の変化量を前記画素毎に加算する変化量加算工程と、前記加算された変化量を前記画素毎に平均化する平均算出工程と、前記平均化された変化量が所定より多い場合、欠陥として検出する検出工程と、から成ることを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (1件)

• エツジ検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165566   出願人：松下電器産業株式会社