特許

J-GLOBAL ID：200903077028475231

チャンバおよび流体噴出器ヘッド

発明者： アージャン・ファータシュ
出願人/特許権者： ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.
代理人 (4件)： 奥山 尚一 ,  有原 幸一 ,  松島 鉄男 ,  河村 英文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150171
公開番号（公開出願番号）：特開2004-001527
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】保護層を有する流体チャンバおよび該流体チャンバを備えるプリントヘッドを提供することにある。【解決手段】本発明のチャンバ108は、基板110と、基板上に配置され、チャンバの側壁122を画定し、チャンバ表面124を有するチャンバ層120であって、チャンバ表面が形成する平面において、約1平方マイクロメートルから約10,000平方マイクロメートルの範囲の面積を有するチャンバ層と、チャンバ層の上方に配置され、第1のオリフィス表面131および第2のオリフィス表面132を有し、穴134を備えたオリフィス層130であって、前記穴は、第1のオリフィス表面が形成する平面において、チャンバ面積よりも小さい面積を有するオリフィス層と、前記穴を通じて、チャンバ層の側壁の上、第1のオリフィス表面の一部の上、オリフィス層の穴の上および基板の一部の上に堆積された保護層140とを備えている。【選択図】 図1a

請求項（抜粋）：

基板と、 該基板上に配置され、チャンバの側壁を画定し、チャンバ表面を有するチャンバ層であって、前記チャンバ表面が形成する平面において、約1平方マイクロメートルから約10,000平方マイクロメートルの範囲の面積を有するチャンバ層と、 該チャンバ層の上方に配置され、第1のオリフィス表面および第2のオリフィス表面を有し、穴を備えたオリフィス層であって、前記穴は、前記第1のオリフィス表面が形成する平面において、前記チャンバ面積よりも小さい面積を有するオリフィス層と、 前記穴を通じて、前記チャンバ層の前記側壁の上、前記第1のオリフィス表面の一部の上、前記オリフィス層の前記穴の上および前記基板の一部の上に堆積された保護層と、 を備えているチャンバ。

IPC (3件)：

B41J2/05 ,  B05C5/00 ,  B41J2/16

FI (3件)：

B41J3/04 103B ,  B05C5/00 101 ,  B41J3/04 103H

Fターム (12件)：

2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG07 ,  2C057AG12 ,  2C057AG29 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP71 ,  2C057BA03 ,  4F041AB01 ,  4F041BA12 ,  4F041BA17