圧延銅箔及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-105673
公開番号（公開出願番号）：特開2006-283146
出願日： 2005年04月01日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】優れたエッチングファクタを有するファインピッチ化に好適な圧延銅箔及びその製造方法を提供する。【解決手段】 Ag、Fe、Ni、Alのうち少なくとも1種以上の元素を0.01〜0.5wt.%含み、残部Cu及び不可避的不純物から実質的になり、200°Cで30分加熱して再結晶組織に調質した状態において、圧延銅箔の圧延面の(100)面のX線回折強度(I)と微粉末銅の(100)面のX線回折強度(I0)の比が10≦I/I0≦60となり、3.5≦EF(エッチングファクタ)となる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

Ag、Fe、Ni、Alのうち少なくとも1種以上の元素を0.01〜0.5wt.%含み、残部Cu及び不可避的不純物から実質的になり、200°Cで30分加熱して再結晶組織に調質した状態において、圧延銅箔の圧延面の(100)面のX線回折強度(I)と微粉末銅の(100)面のX線回折強度(I0)の比が10≦I/I0≦60となり、エッチングファクタが3.5≦EFとなることを特徴とするファインピッチ化に好適な圧延銅箔。

IPC (3件)：

C22C 9/00 , C22C 9/06 , C22F 1/08

FI (3件)：

C22C9/00 , C22C9/06 , C22F1/08 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許3009383号公報
圧延銅箔およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-075470 出願人：日鉱金属株式会社
銅張積層板用圧延銅箔
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-395774 出願人：日鉱金属株式会社, 株式会社日鉱マテリアルズ

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