特許
J-GLOBAL ID：200903077047134330
ウェーハ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182622
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021695
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 外的要因に影響されることなく、目視検査に近い感度を持続して検査のできるウェーハ検査装置を提供する。【解決手段】 本発明に係ルウェーハ検査装置21は、チップの位置やパターンの良否の判定に当たって、パターン間に特徴点のマーキング・前記特徴点からのずれ補正・前記パターン付きウェーハ22の中心点の割り出し・パターンのずれ補正を行うためにX-Y-θ-Zステージ25を設けると共に、このX-Y-θ-Zステージ25にパターン付きウェーハ22を搭載する検査テーブル26を装着させた。
請求項（抜粋）：
カートリッジに収納されたパターン付きウェーハを、搬送用ロボットのウェーハチャックで吸着し搬送用ロボットアームの動作により、プリアライナーに搬送して所定の位置・方向に合わせた後、前記パターン付きウェーハを検査テーブル上に搬送し、該検査テーブル上方に設けたCCDカメラ又は顕微鏡からの入力を認識してチップ位置やパターンの良否を判定選別し、不良パターン上にマーキングをするウェーハ検査装置であって、前記チップの位置やパターンの良否の判定に当たって、前記パターン間に特徴点のマーキング・前記特徴点からのずれ補正・前記パターン付きウェーハの中心点の割り出し・パターンのずれ補正を行うためにX-Y-θ-Zステージを設けると共に、該X-Y-θ-Zステージに前記検査テーブルを装着させたことを特徴とするウェーハ検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, H01L 21/66
, H01L 21/68
H01L 21/02 A
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/68 F
4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DB04
, 4M106DB18
, 4M106DJ32
, 5F031CC12
, 5F031CC22
, 5F031FF01
, 5F031GG04
, 5F031GG12
, 5F031GG19
, 5F031KK09
, 5F031MM05
