特許

J-GLOBAL ID：200903077050824690

除振装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 加藤 宏昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-198101
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018314
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】 空気ばねの剛性損失を招くことなく空気ばねの圧力のフィードバック制御を行なうことができるようにする。【解決手段】 除振台1を支持し圧力が制御可能な空気ばね5と、空気ばねの圧力を計測する圧力センサ3と、除振台の変位または空気ばねの変位を計測する変位センサ2と、除振台の振動を計測する加速度センサ6と、空気ばねの圧力が所望の値となるように空気ばねを駆動する圧力補償手段11、12、13と、除振台または空気ばねの変位に比例した力が除振台へ作用するように空気ばねを駆動する剛性補償手段8、12、13と、除振台の振動を抑制するように空気ばねを駆動する加速度補償手段10、9、12、13と、除振台または空気ばねの変位が所望の値となるように空気ばねを駆動する変位補償手段7、9、12、13とを備える。

請求項（抜粋）：

除振台を支持し圧力が制御可能な空気ばねと、前記空気ばねの圧力を計測する圧力センサと、前記除振台の変位または前記空気ばねの変位を計測する変位センサと、前記除振台の振動を計測する加速度センサと、前記空気ばねの圧力が所望の値となるように前記空気ばねを駆動する圧力補償手段と、前記除振台または前記空気ばねの変位に比例した力が前記除振台へ作用するように前記空気ばねを駆動する剛性補償手段と、前記除振台の振動を抑制するように前記空気ばねを駆動する加速度補償手段と、前記除振台または前記空気ばねの変位が所望の値となるように前記空気ばねを駆動する変位補償手段を有することを特徴とする除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

F16F 15/02 A ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (6件)：

3J048AA06 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048BE02 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23