特許

J-GLOBAL ID：200903077053464066

洗浄機能付き荷電ビーム照射装置

発明者： 大歳 研司 ,  小笠原 宗博 ,  杉原 和佳 ,  若山 茂
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217878
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063932
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】鏡筒内部のコンダクタンスが小さい場合でも、十分なガスを流し、十分な洗浄効果が得られるような荷電ビーム照射装置を提供すること。【解決手段】鏡筒1の外部に設けられ、プラズマ源を収容した原料タンク9から供給されたガスを放電するラジカルガス生成部11と、鏡筒1内の汚染物質付着領域の下部に設けた第1の排気口14aと、汚染物質付着領域の上部に設けられた第2の排気口16aとを備えている。

請求項（抜粋）：

鏡筒と、この鏡筒内に設置され荷電ビームを生成する荷電ビーム発生部と、前記鏡筒の内部に収納され前記荷電ビームを偏向させる光学系と、前記鏡筒に隣接し、前記光学系によって偏向された前記荷電ビームが照射される試料を収容する試料室と、前記荷電ビーム発生部と前記光学系とを選択的に分離する第1の分離手段と、ガスをプラズマ化あるいは活性化させるために鏡筒外に設けられた放電手段と、前記放電手段によって生成された洗浄用ガスを前記鏡筒内に導入するために、前記放電手段と接続され、鏡筒に設けられたガス導入口と、前記洗浄用ガスが光学系を通過して排気されるように前記鏡筒に接続された第1の排気口と、前記第1の排気口によって排気されるガスの経路と異なる経路を有するように前記鏡筒に接続された1個以上の第2の排気口とを具備する洗浄機能付き荷電ビーム照射装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/304 341

FI (5件)：

H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/304 341 D ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 541 Z ,  H01L 21/302 Z