特許
J-GLOBAL ID：200903077058288649
透明物体内の気泡検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138333
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120401
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 波長毎の色収差の発生による焦点距離の違いを利用し、透明物体内の気泡の3次元的な分布を高速で精度良く自動化により検査する。【構成】 多波長光源1から出射された多波長の照射光は色収差発生手段3により分散され、各々の波長毎に異なる焦点距離で被検査物4の内部に集光する。被検査物4の内部に気泡が存在すれば、その境界面で一部反射する。この反射光を光検出手段5で検出する。
請求項（抜粋）：
複数の波長からなる照射光を出射する多波長光源と、前記照射光の光軸上又は/及び軸外での焦点距離が異なるように色収差を発生させて被検査物に照射する色収差発生手段と、前記被検査物内の気泡からの反射光を検出する光検出手段とから構成したことを特徴とする透明物体内の気泡検出装置。
IPC (2件)：
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