特許
J-GLOBAL ID:200903077060303469

積層型電歪/圧電素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 茂見 穰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-028852
公開番号(公開出願番号):特開平7-221360
出願日: 1994年02月01日
公開日(公表日): 1995年08月18日
要約:
【要約】【目的】 容易に且つ安価に内部電極層間の電気的接続を行うことができ、量産化に適するようにする。【構成】 電歪/圧電効果を有する材料からなり内部電極を設けたグリーンシート(未焼結シート)を、多数枚積層一体化してグリーンシートブロック(未焼結ブロック)とし、焼成する方法である。積層一体化したグリーンシートブロック10は、未焼結状態で既にグリーンシート積層方向に貫通穴を有している。そのグリーンシートブロックを導体粉末の分散液中に浸漬することにより前記貫通穴内面に外部電極材を塗布する工程12と、塗布した電極材を焼き付けることにより外部電極を形成する工程14を具備しており、それによって多数の内部電極層を一層毎に接続する。
請求項(抜粋):
電歪/圧電効果を有する材料からなり内部電極層を設けたグリーンシートを多数枚積層一体化してグリーンシートブロックとし、焼結する方法において、グリーンシートブロックは、グリーンシート積層方向に貫通穴を有しており、そのグリーンシートブロックを導体粉末の分散液中に浸漬することにより前記貫通穴内面に外部電極材を塗布し、該電極材を焼き付けることによって多数の内部電極を一層おきに交互に接続するための外部電極を形成することを特徴とする積層型電歪/圧電素子の製造方法。
IPC (2件):
H01L 41/22 ,  H01L 41/083
FI (2件):
H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 Q

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