特許

J-GLOBAL ID：200903077063169330

プラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者： 渡邉 拓 ,  高田 祐助 ,  鈴木 茂夫 ,  青木 正樹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-136755
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312963
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 溶射法によって低コストで高精度に隔壁を形成することによって、高品位な表示を可能とするプラズマディスプレイパネルの製造方法、及びそれによって形成されたプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】 プラズマディスプレイパネルにおいて、放電空間を規定する隔壁が、隔壁材料の溶射によって形成された溶射膜から構成されている。このような隔壁の形成工程は、基板の上に感光性被覆層を形成する工程と、該感光性被覆層に所定パターンの開口部を形成する工程と、少なくとも該開口部の内部に、溶射法によって前記隔壁材料を所定の高さまで堆積させて、前記溶射膜を形成する工程と、該感光性被覆層の表面よりも突出している該溶射膜の部分を研磨によって削り取る研磨工程と、該感光性被覆層を除去し、所定の形状の前記隔壁を得る工程と、を含む。

請求項（抜粋）：

放電空間を規定する隔壁を、隔壁材料の溶射によって形成された溶射膜から構成する隔壁形成工程を包含する、プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁形成工程は、基板の上に感光性被覆層を形成する工程と、該感光性被覆層に所定パターンの開口部を形成する工程と、少なくとも該開口部の内部に、溶射法によって前記隔壁材料を所定の高さまで堆積させて、前記溶射膜を形成する工程と、該感光性被覆層の表面よりも突出している該溶射膜の部分を研磨によって削り取る研磨工程と、該感光性被覆層を除去し、所定の形状の前記隔壁を得る工程とを含み、少なくとも溶射粒子が前記基板と密着する部分での溶射時のプラズマエネルギー量をAとするときに、前記隔壁が、該プラズマエネルギー量Aで第1の隔壁材料を堆積させて形成された第1層と、該プラズマエネルギー量Aよりも小さいプラズマエネルギー量で該第1層の上に前記所定高さまで第2の隔壁材料を堆積させて形成された第2層と、を少なくとも含む多層構造を有しているプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (2件)：

H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (6件)：

5C027AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GF19