スペクトル計測装置及び計測方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-154589
公開番号（公開出願番号）：特開2005-337789
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】高速で高精度な2次元分布が得られるスペクトル計測装置及び計測方法を提供する。【解決手段】測定対象面20に光を照射し、その反射光を分光分析して、測定対象面20における2次元分布を計測する装置において、光を出射する光源11と、測定対象面20から反射されたサンプル光L1を走査する走査手段12と、走査手段12からサンプル光L1を導入し、案内する第1光ガイド部材13と、光源11から出射された光を一端側から導入し、案内する第2光ガイド部材14と、各光ガイド部材13,14の他端側に接続され、かつ、サンプル光L1及びレファレンス光L2をそれぞれ所定の波長バンドごとに掃引、変調するプログラマブル回折格子26、及び各波長バンドごとに各光のスペクトルの差を検出するアレイ検出素子29を有するマルチチャンネル分光器15とを備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象面に光を照射し、その反射光を分光分析して、測定対象面における濃度分布や温度分布等の2次元分布を計測する装置において、光を出射する光源と、上記測定対象面から反射されたサンプル光を走査する走査手段と、上記走査手段からサンプル光を導入し、案内する第1光ガイド部材と、光源から出射された光をレファレンス光として一端側から導入し、案内する第2光ガイド部材と、各光ガイド部材の他端側に接続され、かつ、サンプル光及びレファレンス光をそれぞれ所定の波長バンドごとに掃引、変調するプログラマブル回折格子、及び各波長バンドごとに各光のスペクトルの差を検出するアレイ検出素子を有するマルチチャンネル分光器と、を備えたことを特徴とするスペクトル計測装置。

IPC (6件)：

G01J3/18 , G01J3/36 , G01J5/48 , G01J5/58 , G01K11/12 , G01N21/27

FI (9件)：

G01J3/18 , G01J3/36 , G01J5/48 B , G01J5/48 D , G01J5/58 , G01K11/12 C , G01N21/27 A , G01N21/27 B , G01N21/27 F

Fターム (43件)：

2F056VF12 , 2F056VF13 , 2F056VF16 , 2G020BA17 , 2G020CA02 , 2G020CB03 , 2G020CC02 , 2G020CC07 , 2G020CC13 , 2G020CC42 , 2G020CC63 , 2G020CD04 , 2G020CD06 , 2G020CD12 , 2G020CD24 , 2G020CD36 , 2G020CD37 , 2G059AA01 , 2G059AA10 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059GG05 , 2G059GG10 , 2G059JJ05 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ16 , 2G059JJ17 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059MM12 , 2G059MM17 , 2G066AA01 , 2G066AA04 , 2G066AC09 , 2G066BA12 , 2G066BA24 , 2G066BA27 , 2G066CA01

引用特許：

出願人引用 (6件)

画像分光法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-052556 出願人：株式会社果実非破壊品質研究所
特開昭63-313024
特開昭61-142442

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審査官引用 (5件)

特開昭63-313024
特開昭61-142442
特開昭56-042117

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