特許
J-GLOBAL ID：200903077067770712
物体又は空間の物理的特性測定方法及びその装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154570
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021707
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】複合フィルム1の基層2の粒子濃度の如何に拘らずその補正が可能であると共に、短時間で積層膜厚、粒子濃度などの物理的特性を容易に測定できる、物体又は空間の物理的特性測定方法及びその装置を提供すること。【構成】内部に複数の粒子4が存在する複合フィルムに照明装置6で光を照射し、その反射光をレンズ系7によって拡大した後、撮像装置8上に結像させ、次いで該結像から得られたレンズ系7の焦点付近に存在する粒子数を粒子演算装置9又は膜厚演算装置10によって演算する。
請求項（抜粋）：
共に内部に複数の粒子が存在する透明な物体又は空間の膜厚、粒子濃度等の物理的特性を測定する物体又は空間の物理的特性測定方法であって、前記物体又は空間内部に照明装置で光を照射し、その反射光をレンズ系によって拡大した後、撮像装置上に結像させ、次いで該結像から得られた前記レンズ系の焦点付近に存在する粒子数を粒子演算装置及び膜厚演算装置によって演算することにより、前記物理的特性を求めることを特徴とする物体又は空間の物理的特性測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, G01N 15/02
, G01N 15/06
出願人引用 (2件)
-
特開昭62-177432
-
特開昭61-034411
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
