特許

J-GLOBAL ID：200903077070779674

表面弾性波装置の高いパワー取扱いのための金属被覆および金属被覆を提供する方法

発明者： ライ、ショウリャン
出願人/特許権者： シーティーエス・コーポレーション
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-585946
公開番号（公開出願番号）：特表2002-531980
出願日： 1999年12月01日
公開日（公表日）： 2002年09月24日
要約：

【要約】表面弾性波装置(9)は、実質的に純粋なチタンの第1層(20)、およびアルミニウムとチタンの合金の第2層(22)を有する電極(19)を有する。チタンは合金の重量で略0.1%から略1.0%まで含まれ、アルミニウムは合金の残りを構成する。第1層(20)のチタンは第2層(22)に対する良好な接着および優先的なAl(111)グレーン方向を提供する。第2層(22)のチタンは改良されたパワー取扱いのための良好な機械的強度を提供し、一方アルミニウムは高い電極導電性を維持する。金属被覆における小さいグレーン構造はさらに機械的強度を改良する。

請求項（抜粋）：

表面弾性波装置を形成するために圧電基板上に電極金属被覆を提供する方法において、 基板上に実質的に純粋なチタンの第1層を堆積し、 アルミニウムとチタンの合金の第2層を堆積し、ここに第2層が第1層を覆うように、チタンは合金の重量で略0.1%から略1.0%まで含み、合金の残りを実質的にアルミニウムで構成し、 表面弾性波装置を定義する圧電基板のインターデジテイトされた電極を定義するように層を処理するステップを含む方法。

IPC (4件)：

H03H 3/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/145

FI (4件)：

H03H 3/08 ,  H03H 9/145 C ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 U

Fターム (9件)：

5J097AA26 ,  5J097BB02 ,  5J097DD28 ,  5J097FF03 ,  5J097HA02 ,  5J097HB08 ,  5J097KK01 ,  5J097KK04 ,  5J097KK09