光学部品製造方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289429
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314231
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、樹脂の厚み制御ができるとともに離型時の形状を高精度に維持できる。【解決手段】金型4に各位置検出器10,11,12を内蔵させるとともに各歪みゲージ13,14,15を設け、金型4をUV硬化樹脂3を載せた基板2に対して押し付けるときに金型4と基板2との間隔を各位置検出器10,11,12検出するとともに押し付け力により発生する歪みを各歪みゲージ13,14,15により検出し、制御装置17を通して各圧電アクチュエータ18,19,20を駆動して、UV硬化樹脂3の厚さを制御し、かつ離型時に金型4に加わる力に応じて発生する歪みを検出して金型4の離型方向を制御する。

請求項（抜粋）：

基板上に載せられた光硬化樹脂を金型で押し付けながら前記光硬化樹脂に対して光を照射して前記金型を前記光硬化樹脂に転写する光学部品製造方法において、前記金型と前記基板との距離を検出して前記光硬化樹脂の厚さを制御することを特徴とする光学部品製造方法。

IPC (7件)：

B29C 39/10 , B29C 39/26 , B29C 39/36 , B29C 39/44 , G02B 5/18 , B29K105:24 , B29L 11:00

FI (5件)：

B29C 39/10 , B29C 39/26 , B29C 39/36 , B29C 39/44 , G02B 5/18

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