特許
J-GLOBAL ID:200903077073007729

カラーフィルターの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-335483
公開番号(公開出願番号):特開2000-162423
出願日: 1998年11月26日
公開日(公表日): 2000年06月16日
要約:
【要約】【課題】基板上に樹脂膜パターンを有するカラーフィルターの製造方法において、低コストで不良率の低い樹脂膜パターンの形成方法を提供する。【解決手段】基板上に樹脂膜を有するカラーフィルターの製造方法において、(1)樹脂溶液を基板上に塗布して樹脂膜を形成する工程、(2)該樹脂膜の所望の領域に、波長100〜400nmでの積分強度が波長400〜15000nmでの積分強度より小さい強度スペクトルをもつ光を照射する工程、(3)現像液により該樹脂膜の光非照射領域を除去する工程、を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法によって達成できる。
請求項(抜粋):
基板上に樹脂膜を有するカラーフィルターの製造方法において、(1)樹脂溶液を基板上に塗布して樹脂膜を形成する工程、(2)該樹脂膜の所望の領域に、波長100〜400nmでの積分強度が波長400〜15000nmでの積分強度より小さい強度スペクトルをもつ光を照射する工程、(3)現像液により該樹脂膜の光非照射領域を除去する工程、を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (4件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/30
FI (4件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/30
Fターム (35件):
2H025AA02 ,  2H025AB13 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC69 ,  2H025BJ00 ,  2H025CC11 ,  2H025FA03 ,  2H048BA02 ,  2H048BA16 ,  2H048BA25 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB12 ,  2H048BB13 ,  2H048BB14 ,  2H048BB15 ,  2H048BB24 ,  2H048BB37 ,  2H048BB44 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FB02 ,  2H091FB12 ,  2H091FC01 ,  2H091FC10 ,  2H091FC23 ,  2H091GA16 ,  2H091LA12 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096EA04 ,  2H096EA16 ,  2H096GA01

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