特許
J-GLOBAL ID:200903077073007729
カラーフィルターの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-335483
公開番号(公開出願番号):特開2000-162423
出願日: 1998年11月26日
公開日(公表日): 2000年06月16日
要約:
【要約】【課題】基板上に樹脂膜パターンを有するカラーフィルターの製造方法において、低コストで不良率の低い樹脂膜パターンの形成方法を提供する。【解決手段】基板上に樹脂膜を有するカラーフィルターの製造方法において、(1)樹脂溶液を基板上に塗布して樹脂膜を形成する工程、(2)該樹脂膜の所望の領域に、波長100〜400nmでの積分強度が波長400〜15000nmでの積分強度より小さい強度スペクトルをもつ光を照射する工程、(3)現像液により該樹脂膜の光非照射領域を除去する工程、を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法によって達成できる。
請求項(抜粋):
基板上に樹脂膜を有するカラーフィルターの製造方法において、(1)樹脂溶液を基板上に塗布して樹脂膜を形成する工程、(2)該樹脂膜の所望の領域に、波長100〜400nmでの積分強度が波長400〜15000nmでの積分強度より小さい強度スペクトルをもつ光を照射する工程、(3)現像液により該樹脂膜の光非照射領域を除去する工程、を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (4件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/027 514
, G03F 7/30
FI (4件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/027 514
, G03F 7/30
Fターム (35件):
2H025AA02
, 2H025AB13
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC69
, 2H025BJ00
, 2H025CC11
, 2H025FA03
, 2H048BA02
, 2H048BA16
, 2H048BA25
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB12
, 2H048BB13
, 2H048BB14
, 2H048BB15
, 2H048BB24
, 2H048BB37
, 2H048BB44
, 2H091FA02Y
, 2H091FA35Y
, 2H091FB02
, 2H091FB12
, 2H091FC01
, 2H091FC10
, 2H091FC23
, 2H091GA16
, 2H091LA12
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096EA04
, 2H096EA16
, 2H096GA01
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