特許
J-GLOBAL ID：200903077074612952
プローブカード用プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装置とそれに用いる洗浄液
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-107967
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230989
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 プローブ針の最先端部の摩耗および形状の変化が少なく、プローブ針の寿命を延長することが可能なプローブカード用プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装置とそれに用いる洗浄液を提供する。【解決手段】 燐酸を含む水溶液もしくは無水クロム酸と燐酸をとを含む水溶液からなるプローブカード用プローブ針の洗浄液1にプローブカード用プローブ針11の最先端部12を浸漬する。プローブ針の最先端部12が洗浄液1に浸漬されている際、洗浄液1を振動発生部材10により振動させる。
請求項（抜粋）：
燐酸を含む水溶液からなるプローブカード用プローブ針の洗浄液。
IPC (4件)：
G01R 1/073
, B08B 3/08
, G01R 31/28
, H01L 21/66
G01R 1/073 E
, B08B 3/08 Z
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
