特許
J-GLOBAL ID:200903077083268431
マイクロ電極システム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外7名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-549953
公開番号(公開出願番号):特表2002-515603
出願日: 1999年05月18日
公開日(公表日): 2002年05月28日
要約:
【要約】マイクロ電極システムは、予備化学及び分析化学での使用に適し、一又は二以上のアパーチャーを備えた層状構造を有する。一実施形態では、マイクロ電極システム(1)が伝導層(3)と誘電体層(4)との交互層を備える。層状構造(2)はシリコン又はポリマー材料から成るベース(5)上に形成された2つの伝導層(3)と2つの誘電体層(4)とを備えている。層状構造はその中に一端(7)が開放し、かつその反対端(8)が閉鎖した井戸(6)にアパーチャーを形成している。他の実施形態では、アパーチャーはスルーホール型である。
請求項(抜粋):
電極として作用可能な少なくとも一つの伝導層と少なくとも一つの誘電体層とを有する層状構造と、該層状構造に形成されたアパーチャと、少なくとも一つの伝導層に電気的に接触することができる接触手段とを有する層状構造を備えたマイクロ電極システム。
引用特許:
引用文献:
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