特許
J-GLOBAL ID：200903077084490936
X線透過窓部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131964
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333399
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 X線透過窓の面積が大きくても、機械的な強度に優れ、X線透過率の良いX線透過窓部材を提供する。【構成】 チップ23には、X線を透過させる物質で構成されるX線透過窓23aと、X線透過窓23a上に突設され、このX線透過窓23aを補強するサポート23bが設けられている。2つのチップ23の間にスペーサー12が介装されることにより、スペーサー12とX線透過窓23aの間に試料室13が画成される。サポート23bは格子状に設けられ、X線透過窓23aを構成する物質は、X線透過率の高い物質Si3N4,SiC,SiO2,BNまたはBeのうち少なくとも一つから形成されることが好ましい。
請求項（抜粋）：
X線を透過させる物質で構成されるX線透過窓と、前記X線透過窓上に突設されて該X線透過窓を補強するサポートとが備えられることを特徴とするX線透過窓部材。
IPC (2件)：
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