特許
J-GLOBAL ID:200903077093889426

インジエクシヨン方式によるレーザ発振器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木内 光春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-278047
公開番号(公開出願番号):特開平5-121815
出願日: 1991年10月24日
公開日(公表日): 1993年05月18日
要約:
【要約】【目的】 熱などの外部影響に拘らず、インジェクションロックのかかったスムーズなレーザ波形を常時安定して得ることが可能な、信頼性の高い、インジェクション方式によるレーザ発振器を提供する。【構成】 駆動側レーザ発振器1と従動側レーザ発振器2を有する。従動側レーザ発振器2からのレーザ光22を検出手段10によってモニターし、モニターされたレーザ光の波形に基づいて、制御手段13により、ピエゾ素子などの微小駆動手段7のフィードバック制御を行い、スレーブレーザ2の共振器長を調節する。制御手段13は、例えば、検出手段10によってモニターされたレーザ光の波形の立上がり部を発振開始時刻とし、一定の基準時刻からこの発振開始時刻までを発振遅延時間として、この発振遅延時間に基づき、微小駆動手段を制御する。
請求項(抜粋):
駆動側レーザ発振器と従動側レーザ発振器を有し、前記駆動側レーザ発振器から弱い種となるレーザ光を出射して、この駆動側のレーザ光を前記従動側レーザ発振器に導入し、前記従動側レーザ発振器の強力なレーザ励起領域のゲインを用いて、前記駆動側のレーザ光と同質の強力なレーザ光を得るように構成された、インジェクション方式によるレーザ発振器において、前記従動側レーザ発振器の共振器長を調節する微小駆動手段と、前記従動側レーザ発振器からのレーザ光の波形をモニターする検出手段と、前記検出手段によってモニターされたレーザ光の波形に基づいて、前記微小駆動手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とするインジェクション方式によるレーザ発振器。
IPC (3件):
H01S 3/105 ,  H01S 3/139 ,  H01S 3/23

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