有機化合物膜の除去方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-190993
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217957
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】被処理基体へのダメ-ジを発生させることなく、高速かつ確実に有機化合物膜を除去することのできる有機化合物膜の除去方法を提供すること。【構成】被処理基体11の表面に形成された有機化合物膜をエッチング除去する有機化合物膜の除去方法において、被処理基体11を反応チャンバ10に配置し、被処理基体11を加熱或いは冷却しながら、チャンバ10内にハロゲン元素を含む活性種と水蒸気体とを導入して、有機化合物膜を部分的にエッチングし、次いでチャンバ10内にハロゲン元素の活性種と酸素元素の活性種との混合ガスを導入して、残りの有機化合物膜をエッチングすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

有機化合物膜が表面に形成された被処理基体を、反応容器内で所定温度に制御しながら、ハロゲン元素を含む活性種と酸素元素を含む活性種との混合ガスに晒すことにより、前記有機化合物膜をエッチングすることを特徴とする有機化合物膜の除去方法。

IPC (2件)：

H01L 21/302 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平1-200628
特開昭64-045123
特開平4-184917

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