特許
J-GLOBAL ID：200903077101311927
焦電型赤外線検出素子とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008272
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206230
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、焦電体を用いて赤外線の検出が可能な焦電型赤外線検出素子に関するもので、第二の電極として赤外線吸収に優れた有機系導電材料を具備することにより、感度及びセンサ出力の向上が図れることを目的とする。【解決手段】 第一の電極2、配向性薄膜焦電体3、及び第二の電極4で構成される赤外線受部を備えたものである。この本発明によれば、人体または物体から放出される赤外線エネルギを熱エネルギとして効率的に吸収し、さらに吸収した熱エネルギを赤外線受光部に伝達することにより、薄膜焦電体3自身が十分な温度変化を得ることができ、高感度及びセンサ出力の向上が得られる。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板上に第一の電極を具備し、前記第一の電極上に配向性薄膜焦電体を具備し、さらに前記薄膜焦電体上に第二の電極を具備する赤外線受光部と、前記赤外線受光部が接する前記基板の表層部に空洞を備え、前記赤外線受光部の第二の電極が入射する赤外線エネルギを効率よく吸収できる焦電型赤外線検出素子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01J 1/02 Y
, G01J 5/02 A
, G01J 5/02 R
